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陈进新 男 硕导 中国科学院微电子研究所
电子邮件： chenjinxin@ime.ac.cn
通信地址： 北京市朝阳区北土城西路3号微电子所B507
邮政编码：
招生信息
招生专业
080300-光学工程
080201-机械制造及其自动化
招生方向
先进光刻
精密系统机械设计、极紫外光刻真空
集成电路光刻技术
教育背景
2010-09--2015-07 中国科学院大学 博士
2005-09--2008-07 中国科学院研究生院 硕士
2000-09--2004-07 北京航空航天大学 本科
工作经历
工作简历
2018-11~现在, 中国科学院微电子研究所, 高级工程师
2017-06~2018-07,美国SLAC国家加速器实验室, 访问学者
2015-12~2018-10,中国科学院光电研究院, 高级工程师
2010-10~2015-11,中国科学院光电研究院, 工程师
2010-09~2015-07,中国科学院大学, 博士
2008-07~2010-09,中国科学院光电研究院, 助理工程师
2005-09~2008-07,中国科学院研究生院, 硕士
2000-09~2004-07,北京航空航天大学, 本科
专利与奖励
专利成果
( 1 ) 极紫外辐照材料测试系统的真空获得装置及相应测试方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201510076613
( 2 ) 一种动态气体锁的试验装置和试验方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201610390695
( 3 ) 一种用于极紫外光刻机的动态气体锁, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201610391179
( 4 ) 一种极紫外反射镜片的装调装置, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201510075790
( 5 ) 一种极紫外反射镜片的四维装调装置, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201410545200
( 6 ) 一种气体放电激光光源, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201210333164
( 7 ) 一种新型气体放电腔, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201210337140
( 8 ) 一种极紫外辐照材料测试系统, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201310319441
( 9 ) 一种动态气体锁, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201310320652
( 10 ) 一种螺旋气流动态气体锁, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201310343253
( 11 ) 一种气体激光器放电腔的电极机构, 2013, 第 1 作者, 专利号: 201210266544
出版信息
发表论文
(1) 4-DOF mechanism design for reflectors in vacuum, MME, 2017, 第 1 作者
(2) 极紫外光刻动态气体锁抑制率实验研究, 光学学报, 2017, 第 1 作者
(3) 极紫外光刻动态气体锁抑制率的仿真研究, 激光与光电子学进展, 2017, 第 1 作者
(4) 极紫外光刻动态气体锁抑制率的理论研究, 激光与光电子学进展, 2016, 第 1 作者
(5) 极紫外真空动态气体锁流场分析与研究, 真空科学与技术学报, 2015, 第 1 作者
科研活动
科研项目
( 1 ) EUV光刻机离轴对焦技术研究与部件开发, 主持, 国家级, 2018-01--2021-12
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